李昕欣，研究员，博士生导师。1987年于清华大学无线电电子学系获学士学位，1995年6月和1998年1月于复旦大学电子工程系分获硕士、博士学位。从2001年1月开始至今在中科院上海微系统与信息技术研究所任研究员和博士生导师。2005年获得上海市科技进步将一等奖（技术发明类），个人排名第一；2006年度获得上海市技术发明奖二等奖（个人排名第三）；2012年获国家技术发明二等奖一项（第一单位第二人）。2004年享受国务院特殊津贴；2006年获得第三届“上海市青年科技英才”称号和奖励；2011年入选上海领军人才。李昕欣长期研究微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器技术，是该领域国际知名的学者和国内的学术带头人之一。已授权和受理专利近100项，有10多项已经授权转让给企业转化生产力和经济效益，并为国家重要工程提供MEMS传感器产品技术,做出了突出贡献。有约160篇SCI论文发表在国际重要SCI期刊如IEEE EDL, IEEE J-MEMS, IEEE Trans. Ind. Electron., IEEE T-ED, IEEE T-MTT, IEEE/ASME Trans Mech, Small, Adv Func Mat, Anal Chem, Lab Chip, J Mat Chem, Chem Comm, ACS AMI, JMM, Sens Actuators B等。发表国际会议论文100多篇，其中在论文录取较难的三个领域顶级国际会议IEEE IEDM、Transducers和IEEE MEMS上就发表了约100篇。在多个SCI国际期刊和《中国科学等》发表了特约综述论文，在多个国际会做大会报告和邀请报告。李昕欣教授曾成为IEEE MEMS会议来自我国的第一个TPC委员，现任Transducers会议唯一来自我国的International Steering Committee委员，担任国际领域核心SCI期刊J Micrmech Microeng的编委。李昕欣兼任复旦大学、上海交通大学、大连理工大学和上海科技大学等校的兼职教授。李昕欣曾任上海市人大代表，现任上海市政协常委、九三学社中央委员和九三学社上海市委副主委。

• 微纳集成技术

• 微纳传感器技术

• 微纳机电系统技术

1. Jiachou Wang and Xinxin Li, Single-Side Fabricated Pressure Sensors for IC-Foundry Compatible High-Yield and Low-Cost Volume Production, IEEE Electronic Device Letters, VOL.32, 2011, pp.979-981.

2. Yongliang Yang and Xinxin Li, Giant piezoresistance measured in n-type nano-thick Si-layer that has interface with SiO2, IEEE Electron Device Letters, 32 (3), 2011, pp. 411-413.

3. Haitao Yu, Pengcheng Xu, Xiaoyuan Xia, D-W Lee and Xinxin Li, Micro/Nano-combined Gas Sensors with Functionalized Mesoporous Thin-film Self-assembled in Batches onto Resonant Cantilevers, IEEE Trans. Industrial Electronics, VOL.59, 2012, pp.4881-4887.

4. Pengcheng Xu, Haitao Yu and Xinxin Li, Functionalized Mesoporous Silica for Microgravimetric Sensing of Trace Chemical Vapors, Analytical Chemistry, 83 (2011), pp 3448–3454.

5. Yongjing Liu, Pengcheng Xu, Haitao Yu, Guomin Zuo, Zhenxing Cheng, D-W Lee, Xinxin Li, Hyper-branched sensing polymer directly constructed on resonant micro-cantilever for detection of trace chemical vapors, .J Mater. Chem., 2012, 22 (34), 18004 - 18009.