2023年5月14日至5月17日，第十八届国际电气与电子工程师协会微纳工程与分子系统国际研讨会（The 18th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,以下简称IEEE NEMS 2023会议）在韩国济州岛召开。我很荣幸能前往济州岛参加IEEE NEMS 2023会议进行学术交流，并汇报我与任豪老师题为“An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate”的工作成果。我们研究了一个基于绝缘体上硅结构衬底的A2模态氮化铝兰姆波谐振器。其具有较高的声波相速度，在高频滤波等方面有着广阔的应用前景。
在会议的第二天下午，也就是5月15日下午，我在Nano/Micro Electro-Mechanical Systems分会场关于我的工作进行了口头报告。压电声学谐振器在便携式无线通讯设备中被广泛用于滤波与时钟功能的实现。目前，石英晶体谐振器因其极高的品质因子以及热稳定性成为了高精度时钟功能实现的不二之选，基于铌酸锂和钽酸理的声表面波谐振器与基于氮化铝的体声波谐振器因其优异的品质因子以及机电耦合效率而被广泛用于滤波器中。但是，石英晶体谐振器和声表面波谐振器的体积较大且难以片上集成，而体声波谐振器则因其厚度决定的谐振频率而难以实现多频率单片集成。这使得这三种传统的压电声学谐振器越来越难以应用在高性能小体积的无线通信设备当中。近二十年来，兰姆波谐振器，尤其是S0模态兰姆波谐振器，因其体积小、声波相速度高、易于集成等优点而被广泛研究。但是，S0模态兰姆波谐振器的声波相速度仍被限制在10000m/s以下，需要高分辨率的光刻工艺来实现在超高频下的工作。在这项工作中，我们研究了二阶非对称模态，也就是A2模态，在基于绝缘体上硅结构衬底的氮化铝兰姆波谐振器上的实现。高阶兰姆波模态可以提供较高的声波相速度，使得我们可以在对光刻精度要求不高的情况下实现较高的工作频率。我们利用有限元仿真探究了器件的谐振模态与性能，利用基于背部深硅反应离子刻蚀释放工艺的微纳工艺流程制作了这一器件，并表征和测量了器件的几何形貌以及电学特性。同时，我们在这项工作中讨论了工艺和器件形貌的不理想所可能导致的器件性能下降和谐振频率变化。
参会的四天中，来自不同院校的教授和同学带来的丰富精彩的报告与海报展示令我应接不暇。十三个不同主题的session涵盖了能量收集材料与器件、微纳光学器件、微纳化学与物理传感器等多个研究方向。令我印象最为深刻的是卡耐基梅隆大学的Gianluca Piazza教授关于超高频声学谐振器的报告。在报告中，Gianluca Piazza教授介绍了如何在设计以及微纳加工工作在30-50GHz下的声学谐振器，以及他们在毫米波通讯系统中的可能应用。他的精彩报告让我对于自己所研究的压电声学谐振器领域的前沿有了更直观、更明晰的了解。一系列有关先进微纳加工工艺的报告也令我受益匪浅。来自美国橡树岭国家实验室的Ondrej dyck博士报告了他们利用扫描隧穿电子显微镜所进行的一系列分子与原子尺度上的工艺研究，来自浙江大学的Huan Hu教授则报告了利用氦离子聚焦显微镜进行的纳米尺度下的高精度器件形态加工。他们的报告可以说让我接触到了微纳工艺研究的最前沿，让我意识到平时使用的量测仪器也可以进行如此精妙的工艺探究。
这次参会为我带来了一次十分宝贵的经历，让我收获了许多人生的第一次：第一次出国、第一次独自出门远行、第一次参加国际学术会议、第一次全英文进行学术报告······会议上与不同院校的教授同学的交流，极大地锻炼了我的社交与表达能力。各位演讲人给出的精彩报告，和每天傍晚的海报展示，都极大地拓宽了我的视野，让我可以在短短几天内接触到如此多的研究方向，也让我意识到多领域融合以及创新的重要性。另一方面，从论文撰写，到演示文稿准备，再到上台进行15分钟的口头报告与问答，这次参会让我完整地经历了一次学术会议的投稿与参会流程，为我以后的论文写作与投稿以及会议报告积累了宝贵的经验。十分感谢任豪老师与学校让我有机会参加IEEE NEMS 2023会议，收获这么一段意义非凡的经历。
领取到参会名牌
IEEE NEMS 2023主会场
与东北大学Matteo Rinaldi教授（左一）和卡耐基梅隆大学Gianluca Piazza教授（右一）合影