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从MEMS到微纳制造与微纳传感器
Date:2018/6/8     Browse:64

Speaker:     Dr. Tie Li

Time:          14:20—15:10, June 8

Location:    Room 1A-200, SIST Building

Abstract:

MEMS技术一个显著的特点是工艺具有高度的选择性,基于工艺的选择性,已经发展出一系列MEMS制造技术,使得MEMS传感器的性价比大幅度提高,在手机、汽车、医疗和消费领域得到广泛应用。同样,基于MEMS的工艺选择性,也可以发展出纳米制造技术。我们将介绍基于MEMS的微纳制造新方法,回顾作者利用建立的制造方法研制的超高灵敏微纳传感器及其应用探索。

Bio:

李铁,博士,中国科学院上海微系统与信息技术研究所特聘研究员,博士导师,军委科技委主题专家,上海市优秀学术带头人。1992、1997年在中国科学技术大学分获学士、博士学位。目前研究领域为微纳传感器机理、器件及应用基础研究。承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中科院项目等国家省部级项目30余项。现任上海市传感技术学会副理事长、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术专业委员会委员、APCOT国际会议督导委员会委员、IEEE MEMS、MARSS、DTIP国际会议TPC成员等职。在硅纳米线制造及器件、纳米效应表征、红外热电堆及红外气体模块应用等方面开展了系统研究工作。已在Nano Letters、Small、Carbon、IEEE EDL、IEEE MEMS等刊物上发表论文160余篇,其中SCI-E收录70余篇,影响因子大于10的论文3篇,影响因子大于5的论文10余篇,被包括Nano Letters、ACS Nano、Advanced Functional Materials、Small等杂志上的SCI-E论文他引500余次,获美国专利1项,中国发明专利41项。获国家技术发明二等奖、上海市技术发明二等奖、上海市科技进步二等奖、美国汽车电子学会(SAE)Arch T. Colwell Merit 奖。被评为“中科院优秀研究生导师”,指导的博士生获得“中国科学院院长特别奖”和中科院百篇优秀博士论文。

SIST-Seminar 18037