吴涛课题组在IEEE MEMS 2019会议上发表重要科研成果

发布者:王雪发布时间:2019-03-11浏览次数:66

我校信息学院吴涛教授课题组与合作者在回转器和铌酸锂压电谐振器领域进行了合作,取得了三项重要成果,以此为基础的三篇论文均已被微机电系统领域知名国际会议MEMS 2019接收录用。

1a)芯片级微机电回转器结构图(b)回转器的高阶模态仿真

其中最重要的一篇论文以“A Chip-Scale RF MEMS Gyrator Via Hybridizing Lorentz Force And Piezoelectric Transductions”为题介绍了第一种基于洛伦兹力和压电转换的芯片级射频MEMS回转器的设计和实验结果。MEMS回转器的非互易性的相位响应180°,可以用作构建块合成复杂的非互易性网络。MEMS回转器的等效电路和性能测试结果都显示预期的180°相位差。该换能器设计中没有使用任何磁性材料,完全采用微纳工艺加工完成,具有小型化和集成度高等优势,利用高阶压电谐振模态可以向GHz方向扩展。该成果首次在射频上用完全无源芯片级机械装置实现了非互易性,并讨论了器件在实现强耦合和低插入损耗方面的各种挑战。

   2 MEMS回转器器件的(a)电镜图,二端口Y参数测试结果(b)幅度(c)相位


   该论文中,吴涛教授为通信作者,UIUC Songbin Gong教授为合作者,上科大为第一完成单位,相关研究得到了浦江计划、国家自然科学基金和上海科技大学科研启动基金的支持。