• / Senior Lithography Process Engineer Liangxing Wang / 王亮兴 超净平台光刻工艺高级工程师
    电话:(021) 20685354
    Email: wanglx@@shanghaitech.edu.cn
    办公室: 上海市浦东新区华夏中路393号信息学院1B-206室
    专业方向:
Senior Lithography Process Engineer Liangxing Wang / 王亮兴 超净平台光刻工艺高级工程师

电 话:(021) 20685354
Email :wanglx@@shanghaitech.edu.cn
办公室:上海市浦东新区华夏中路393号信息学院1B-206室

岗位职责A(主要负责)

1. 负责娴熟操作与使用超净室中包含但不限于电子束曝光机、扫描步进曝光机、电子显微镜、匀胶机、化学通风柜等实验设备、仪器及装置;
2. 负责完善与曝光工艺流程(曝光、匀胶、显影、坚膜等)相关的工艺规范,研究工艺参数与条件对实验结果的影响趋势或规律;
3. 负责设计制定曝光工艺优化方案、扩大工艺窗口、改善工艺能力;对新进工艺工程师或工艺技术员责任机台培训方案执行;   
4. 负责实现并完成学校科研项目、外协项目与曝光工艺相关的工艺流程;
5. 负责日常曝光工艺问题处理,完成分析报告并及时完成相关文件;
6. 负责采购、保管和管理曝光工艺相关的必备耗材与工具;
7. 帮助和培训学生以及其他科研工作人员使用曝光工艺相关的设备与仪器;
8. 辅助半导体器件制造实验课程的制定和开设


岗位职责B(兼任负责)

备注(支持其他队友)

方维政、刘婷婷